关于残留气体计量分析仪 (RGA)的介绍

2015-05-29

○ RGA是Residual Gas Analyzer的简称

○ 真空计的一种

○ 该仪器可以检测在真空中存在的各类气体的种类以及各类气体的压力(分压)

○ 通过知晓剩余气体的种类以及其比例了解真空的品质






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